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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1064820(A) 申请公布日期 1998.03.06
申请号 JP19970136090 申请日期 1997.05.09
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 ADACHI HIROKI;GOTOU YUUGO;TAKAYAMA TORU;MIYANAGA SHOJI;OTANI HISASHI;CHIYOU KOUYUU;TAKEMURA YASUHIKO
分类号 H01L21/20;G02F1/1368;H01L21/02;H01L21/324;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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