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发明名称 NEGATIVE RESIST CONTAINING PHS HAVING INERT PROTECTIVE GROUP
摘要
申请公布号 JPH1062994(A) 申请公布日期 1998.03.06
申请号 JP19970165650 申请日期 1997.06.23
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 GREGORY BUREITA;WILLIAM R BURUNSUBUORUDO;WILLIAM E KONRII JR;KATHLEEN M KOONETSUTO;MAHAMUUDO EMU HOJISUTE
分类号 G03F7/004;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/038 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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