| 发明名称 |
RADIATION SENSITIVE RESIN COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1062992(A) |
申请公布日期 |
1998.03.06 |
| 申请号 |
JP19960233643 |
申请日期 |
1996.08.15 |
| 申请人 |
JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO LTD |
发明人 |
ENDO MASAYUKI;UKO TOMOHIRO |
| 分类号 |
C08F2/46;C08F2/54;G03F7/008;G03F7/012;G03F7/029;G03F7/033;G03F7/038;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):G03F7/038 |
主分类号 |
C08F2/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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