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发明名称 SiO2 electret and its manufacturing process
摘要
申请公布号 EP0608162(B1) 申请公布日期 1998.03.04
申请号 EP19940400075 申请日期 1994.01.12
申请人 LEWINER, JACQUES;PERINO, DIDER 发明人 LEWINER, JACQUES;PERINO, DIDER
分类号 C23C16/40;C23C16/56;H01G7/02;H04R19/01;(IPC1-7):H01G7/02 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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