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发明名称 Photothermal inspection method, arrangement for its working out, and utilisation of the method
摘要
申请公布号 EP0394932(B1) 申请公布日期 1998.03.04
申请号 EP19900107682 申请日期 1990.04.23
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT;PETRY, HARALD, DR. 发明人 WINSCHUH, ERICH;PETRY, HARALD, DR.
分类号 G01B11/06;G01B11/30;G01J1/44;G01N3/00;G01N3/32;G01N21/17;G01N21/71;G01N25/72;H01L21/66;H01S3/10;(IPC1-7):G01N21/17 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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