发明名称 PRODUCTION OF LARGE CRYSTAL GRAIN THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH1059793(A) 申请公布日期 1998.03.03
申请号 JP19960219581 申请日期 1996.08.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SAKAI MASAHIRO;ADACHI HIDEAKI;SETSUNE KENTARO
分类号 C30B1/06;C30B29/22;C30B30/08;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):C30B1/06 主分类号 C30B1/06
代理机构 代理人
主权项
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