发明名称 |
PRODUCTION OF LARGE CRYSTAL GRAIN THIN FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1059793(A) |
申请公布日期 |
1998.03.03 |
申请号 |
JP19960219581 |
申请日期 |
1996.08.21 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SAKAI MASAHIRO;ADACHI HIDEAKI;SETSUNE KENTARO |
分类号 |
C30B1/06;C30B29/22;C30B30/08;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):C30B1/06 |
主分类号 |
C30B1/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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