| 发明名称 |
INCLINED TARGET TYPE MAGNETRON SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1060641(A) |
申请公布日期 |
1998.03.03 |
| 申请号 |
JP19960231375 |
申请日期 |
1996.08.12 |
| 申请人 |
TOYAMA PREF GOV;TAKAHASHI RYUICHI |
发明人 |
IWATSUBO SATOSHI;TAKAHASHI RYUICHI |
| 分类号 |
C23C14/35;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
