| 发明名称 |
PLASMA CVD APPARATUS AND FORMATION OF DEPOSITED FILM BY PLASMA CVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1060654(A) |
申请公布日期 |
1998.03.03 |
| 申请号 |
JP19960239730 |
申请日期 |
1996.08.22 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TAKAGI SATOSHI;YAMAGAMI ATSUSHI |
| 分类号 |
G03G5/08;C23C16/50;C23C16/505;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
G03G5/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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