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发明名称 Thin film for microsystem technology and microstructuring
摘要 A thin film for microsystem technology and microstructuring is formed from an enzymatically degradable biopolymer giving a thickness of 30-3000 nm.
申请公布号 DE19634120(A1) 申请公布日期 1998.02.26
申请号 DE19961034120 申请日期 1996.08.23
申请人 INSTITUT FUER PHYSIKALISCHE HOCHTECHNOLOGIE E.V., 07743 JENA, DE 发明人 ERMANTRAUT, EUGEN, 07745 JENA, DE;KOEHLER, JOHANN MICHAEL, DR., 07751 GOLMSDORF, DE;SCHULZ, TORSTEN, DR., 07743 JENA, DE;WOHLFART, KLAUS, DIPL.-CHEM., 07751 JENA, DE
分类号 B01J19/00;C12Q1/00;H01L21/312;(IPC1-7):G03F7/00;H05K3/06;H01L21/31 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
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