发明名称 用于含聚氨酯组合物的刻蚀技术
摘要 本发明是关于含聚氨酯组合物的刻蚀技术,该技术采用0.5~5%(重量)的碱金属氢氧化物醇溶液为刻蚀剂,在10~40℃条件下,刻蚀24~300小时后,有效地刻蚀了共聚物中的聚氨酯组分,反映出了共聚物的相结构,可广泛用于含聚氨酯组合物的刻蚀。
申请公布号 CN1174342A 申请公布日期 1998.02.25
申请号 CN96116473.5 申请日期 1996.08.20
申请人 中国石油化工总公司;复旦大学;中国石油化工总公司上海石油化工研究院 发明人 谢静薇;江明;张勤;叶惠娟;卢文奎;谢文炳;王浩
分类号 G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 上海石化专利事务所 代理人 袁明昌
主权项 1.一种用于含聚氨酯组合物的刻蚀技术,其特征在于聚氨酯组份的刻蚀剂为碱金属氢氧化物的醇溶液,浓度为0.5~5%(重量),刻蚀时间为24~300小时,刻蚀温度为10~40℃。
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