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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 JPH1056014(A) 申请公布日期 1998.02.24
申请号 JP19960212620 申请日期 1996.08.12
申请人 SONY CORP 发明人 SHINOHARA KEIJI
分类号 H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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