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发明名称 Forming dielectric films
摘要
申请公布号 GB2316535(A) 申请公布日期 1998.02.25
申请号 GB19970017457 申请日期 1997.08.18
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 TATSUYA * USAMI
分类号 H01L21/768;C23C16/40;C23C16/507;C23C16/511;H01L21/314;H01L21/316;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/31;C23C16/22 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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