| 发明名称 |
PROBE FOR INTEGRATED CIRCUIT INSPECTION SYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1048254(A) |
申请公布日期 |
1998.02.20 |
| 申请号 |
JP19970119451 |
申请日期 |
1997.05.09 |
| 申请人 |
EITO KOGYO:KK |
发明人 |
SEKIMOTO RIICHI;TAKAHASHI TATSUMI;ISHIKAWA YUJI;SUNAGA HIDEKAZU |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/073;G01R31/00;G01R31/28;(IPC1-7):G01R1/073 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
