| 摘要 |
配管（２）内を流れる流体（５）に対して振動を印加する加振部（６）と、加振部（６）を制御し、流体（５）に対して複数の周波数の振動（第１の振動）を印加させる第１加振制御部（１０１）と、第１加振制御部（１０１）の制御に従い加振部（６）により印加されて流体（５）を伝搬する第１の振動を検知する第１検知部（７）と、第１検知部（７）が検知することで得られた振動波形である第１振動波形を用いて、漏洩孔（３）を介して配管（２）の外部に伝搬する振動の周波数を特定する信号処理部（１０２）と、加振部（６）を制御し流体（５）に対して信号処理部（１０２）が特定した周波数の振動（第２の振動）を印加させる第２加振制御部（１０３）と、第２加振制御部（１０３）の制御に従い加振部（６）により印加された第２の振動を検知する第２検知部（８）と、を有する欠陥分析装置。 |
