| 发明名称 |
MANUFACTURE OF COMPD. SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1050728(A) |
申请公布日期 |
1998.02.20 |
| 申请号 |
JP19970127793 |
申请日期 |
1997.05.02 |
| 申请人 |
LG ELECTRON INC |
发明人 |
CHIYAN TE KIMU;GI UN JIYON |
| 分类号 |
H01L29/812;H01L21/00;H01L21/338;H01L29/739;(IPC1-7):H01L21/338 |
主分类号 |
H01L29/812 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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