| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1050710(A) |
申请公布日期 |
1998.02.20 |
| 申请号 |
JP19960199920 |
申请日期 |
1996.07.30 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
HAJI HIROSHI |
| 分类号 |
C23C14/58;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/60;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/320 |
主分类号 |
C23C14/58 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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