发明名称 Belichtungsgerät
摘要
申请公布号 DE69128655(D1) 申请公布日期 1998.02.19
申请号 DE19916028655 申请日期 1991.02.28
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 EBINUMA, RYUICHI, CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;MIZUSAWA, NOBUTOSHI, CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;KARIYA, TAKAO, CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;SUDA, SHIGEYUKI, CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;UZAWA, SHUNICHI, CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;HASEGAWA, TAKAYUKI, CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号 G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):G03F7/20;G03B27/53 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址