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发明名称
摘要
申请公布号	JP2717661(B2)	申请公布日期	1998.02.18
申请号	JP19880125510	申请日期	1988.05.23
申请人		发明人
分类号	H01L23/522;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/768;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824	主分类号	H01L23/522
代理机构		代理人
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