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发明名称 METALLIC THIN FILM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1046332(A) 申请公布日期 1998.02.17
申请号 JP19960200656 申请日期 1996.07.30
申请人 NEC CORP 发明人 NIIMURA TOSHIKI
分类号 C23C14/34;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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