发明名称 DRY FILM RESIST
摘要
申请公布号 JPH1039504(A) 申请公布日期 1998.02.13
申请号 JP19960212138 申请日期 1996.07.24
申请人 NITTO CHEM IND CO LTD 发明人 SAITO TAKASHI;SHIMIZU SHIGERU;YUASA MASAMI;UZAWA MASASHI
分类号 G03F7/004;G03F7/09;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
地址