发明名称 PROBE BOARD FOR INSPECTING BARE CHIP AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH1038917(A) 申请公布日期 1998.02.13
申请号 JP19960192365 申请日期 1996.07.22
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 SUZUKI KATSUMI;CHINDA SATOSHI
分类号 G01R31/26;G01R1/06;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/06 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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