发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1041475(A) 申请公布日期 1998.02.13
申请号 JP19960193392 申请日期 1996.07.23
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP;MITSUBISHI DENKI SEMICONDUCTOR SOFTWARE KK 发明人 KOJIMA HIROSHI;KAMAKURA HIROSHI
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/02;H01L27/04;H01L27/10;(IPC1-7):H01L27/10 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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