| 主权项 |
1.一种湿蚀刻装置,包含:一动力源;用以传送该动力源之动力的一传送装置;以及一滚筒,其使用由该传送装置传送之该动力源的动力来反转放置于一处理浴中之一晶圆之底与顶位置。2.如申请专利范围第1项之湿蚀刻装置,其中该滚筒系由欲与由该载具部份地暴露出来之晶圆之周缘接触的一支持构件所支持。3.如申请专利范围第1项之湿蚀刻装置,还包含用以侦测一平坦区域被该滚筒排成一直线的一感应器。4.如申请专利范围第2项之湿蚀刻装置,其中该滚筒与该支持构件系由对一化学溶液为耐腐蚀的材料所制成。5.如申请专利范围第4项之湿蚀刻装置,其中该对一化学溶液耐腐蚀的材料为铁弗龙。图示简单说明:第一图是一截面图,显示一习知的湿蚀刻装置;第二图是一立体图,显示本发明之一实施例的一湿蚀刻装置;第三与四图是截面图,显示第二图之湿蚀刻装置。 |
