发明名称 PREPROCESSING SYSTEM FOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH1034460(A) 申请公布日期 1998.02.10
申请号 JP19960189488 申请日期 1996.07.18
申请人 MINAMI DENSHI KOGYO KK 发明人 KITAMURA SHIGETOSHI;URAIE AKIRA;MINAMI TOSHIHARU
分类号 B23B41/00;B23P23/00;B26F1/00;H05K3/00;(IPC1-7):B23P23/00 主分类号 B23B41/00
代理机构 代理人
主权项
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