发明名称 |
PREPROCESSING SYSTEM FOR SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1034460(A) |
申请公布日期 |
1998.02.10 |
申请号 |
JP19960189488 |
申请日期 |
1996.07.18 |
申请人 |
MINAMI DENSHI KOGYO KK |
发明人 |
KITAMURA SHIGETOSHI;URAIE AKIRA;MINAMI TOSHIHARU |
分类号 |
B23B41/00;B23P23/00;B26F1/00;H05K3/00;(IPC1-7):B23P23/00 |
主分类号 |
B23B41/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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