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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Lageabweichungen
摘要
申请公布号 DE69222382(T2) 申请公布日期 1998.02.05
申请号 DE19926022382T 申请日期 1992.07.31
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NOSE, MORIYUKI, C/O CANON KABUSHIKI KAISH, OHTA-KU, TOKYO, JP;SAITOH, KENJI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;OSAWA, HIROSHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;HASEGAWA, MASANOBU, C/O CANON KABUSHIKI KAISH, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号 G01B11/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/66;(IPC1-7):G03F7/20;G03F9/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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