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发明名称 ELECTROSTATIC WAFER CLAMP
摘要
申请公布号 EP0620953(B1) 申请公布日期 1998.02.04
申请号 EP19940900491 申请日期 1993.11.01
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人 FRUTIGER, A., WILLIAM
分类号 B23Q3/15;H01L21/265;H01L21/683;H02N13/00;(IPC1-7):H02N13/00;H01L21/00 主分类号 B23Q3/15
代理机构 代理人
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