发明名称 发光器件、发光器件的晶片及其制造方法
摘要 本发明可得到一种具有蓝光亮度更高的发光器件。在GaAs衬底(8)上形成氮化镓复合层(9),然后至少部分去除GaAs衬底(8)以形成发光器件。由于去除了GaAs衬底(8),与全部保留GaAs衬底(8)的情况相比,光吸收减少。这样,可以得到蓝光亮度更高的发光器件。
申请公布号 CN1171621A 申请公布日期 1998.01.28
申请号 CN97113522.3 申请日期 1997.05.30
申请人 住友电气工业株式会社 发明人 元木健作;津充;三浦祥纪
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 萧掬昌;张志醒
主权项 1.一种制备发光器件晶片的方法,该方法包括下列步骤:在GaAs衬底(8)上形成氮化物复合层(9);和在形成所述氮化物复合层后,至少部分去除所述GaAs衬底。
地址 日本大阪府