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发明名称 SHAPE GENERATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1025583(A) 申请公布日期 1998.01.27
申请号 JP19960179474 申请日期 1996.07.09
申请人 MORI YUZO;DENKI KOGYO CO LTD;NIKON CORP 发明人 MORI YUZO;TANIGUCHI MIKI;TAKINO HIDEO;TANAKA HIROAKI;EBI MASAMI;SHIBATA NORIO
分类号 H05H1/46;B23K10/00;C03B23/00;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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