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发明名称 SURFACE TREATING DEVICE AND NOZZLE PROVIDED THERETO
摘要
申请公布号 JPH1027778(A) 申请公布日期 1998.01.27
申请号 JP19960179407 申请日期 1996.07.09
申请人 KOMATSU LTD 发明人 TERAJIMA KATSUTOMO
分类号 H05H1/42;C23C16/44;C23C16/455;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/42
代理机构 代理人
主权项
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