| 发明名称 |
SCANNING TYPE ELECTRONIC MICROSCOPE AND ANALOGOUS EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1021864(A) |
申请公布日期 |
1998.01.23 |
| 申请号 |
JP19960168959 |
申请日期 |
1996.06.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YAMADA OSAMU;KAGEYAMA KASHIO;KANEOKA NORIYUKI |
| 分类号 |
H01J37/22;H01J37/153;H01J37/21;(IPC1-7):H01J37/22 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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