| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR HOLOGRAM EXPOSURE, AND CONFOCAL OPTICAL SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1019530(A) |
申请公布日期 |
1998.01.23 |
| 申请号 |
JP19960167571 |
申请日期 |
1996.06.27 |
| 申请人 |
KOMATSU LTD |
发明人 |
WAKAI HIDEYUKI;ANDO MANABU;MORIYA MASATO;NAKAIKE TAKANORI;ABE SHINICHI |
| 分类号 |
G01B11/24;G03H1/04;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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