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发明名称 Vorrichtung zur Positionierung eines ICs
摘要
申请公布号 DE19580944(T1) 申请公布日期 1998.01.22
申请号 DE19951080944T 申请日期 1995.08.30
申请人 ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 GOTO, TOSHIO, KUMAGAYA, SAITAMA, JP
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/66;G01R31/303;B65G47/80;B65G47/22;B65G49/07 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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