| 发明名称 |
A semiconductor device with a piezoresistive pressure sensor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0617267(B1) |
申请公布日期 |
1998.01.21 |
| 申请号 |
EP19940104498 |
申请日期 |
1994.03.22 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS DEUTSCHLAND GMBH |
发明人 |
HARTAUER, SIEGBERT |
| 分类号 |
G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/06 |
主分类号 |
G01L9/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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