发明名称 |
SAMPLE STAGE FOR ELECTRON MICROSCOPE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1012172(A) |
申请公布日期 |
1998.01.16 |
申请号 |
JP19960162713 |
申请日期 |
1996.06.24 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SEYA HIDEKAZU;TODOKORO HIDEO;KUROSAKI TOSHISHIGE;SUGAYA MASAKAZU |
分类号 |
H01J37/20;(IPC1-7):H01J37/20 |
主分类号 |
H01J37/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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