发明名称 SAMPLE STAGE FOR ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH1012172(A) 申请公布日期 1998.01.16
申请号 JP19960162713 申请日期 1996.06.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 SEYA HIDEKAZU;TODOKORO HIDEO;KUROSAKI TOSHISHIGE;SUGAYA MASAKAZU
分类号 H01J37/20;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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