| 发明名称 |
CVD DEVICE SUSCEPTOR, AND CVD DEVICE HAVING HIGH FREQUENCY INDUCTION HEATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1012364(A) |
申请公布日期 |
1998.01.16 |
| 申请号 |
JP19960157105 |
申请日期 |
1996.06.18 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KINOUCHI SHINICHI;TARUI YOICHIRO;SHIRAKI YASUHIRO |
| 分类号 |
H05B6/10;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/46;C30B25/10;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H05B6/10 |
主分类号 |
H05B6/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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