发明名称 THIN FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1012882(A) 申请公布日期 1998.01.16
申请号 JP19960159682 申请日期 1996.06.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 FUKUDA KAICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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