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发明名称 ETCHING GAS
摘要
申请公布号 JPH1010549(A) 申请公布日期 1998.01.16
申请号 JP19960159650 申请日期 1996.06.20
申请人 MITSUI PETROCHEM IND LTD 发明人 IWAMORI AKIRA;FUKUDA SHIN;NOZAKI SHOHEI;NAKAJIMA YASUTOSHI
分类号 G02F1/1343;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/461;(IPC1-7):G02F1/134;H01L21/306 主分类号 G02F1/1343
代理机构 代理人
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