Vorrichtung zum Bearbeiten von Halbleiterscheiben unter Anwendung eines durch Elektronenzyklotronresonanz erzeugten Plasmas,申请号DE19883844034-传众专利搜索

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发明名称	Vorrichtung zum Bearbeiten von Halbleiterscheiben unter Anwendung eines durch Elektronenzyklotronresonanz erzeugten Plasmas
摘要
申请公布号	DE3844034(C2)	申请公布日期	1998.01.15
申请号	DE19883844034	申请日期	1988.12.27
申请人	MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	OGAWA, TOSHIAKI, ITAMI, HYOGO, JP;FUJIWARA, NOBUO, ITAMI, HYOGO, JP;KAWAI, KENJI, ITAMI, HYOGO, JP;SHIBANO, TERUO, ITAMI, HYOGO, JP;MORITA, HIROSHI, ITAMI, HYOGO, JP;NISHIOKA, KYUSAKU, ITAMI, HYOGO, JP
分类号	H01L21/302;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H05H1/46	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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