发明名称 FORMATION OF SILICON DIOXIDE LAYER
摘要
申请公布号 JPH108254(A) 申请公布日期 1998.01.13
申请号 JP19960162175 申请日期 1996.06.21
申请人 TOYOTA MOTOR CORP 发明人 MARUMOTO IKURO
分类号 C01B33/12;C23C16/40;C23C16/50;C23C16/503;C23C16/509;C23C26/00;(IPC1-7):C23C16/40 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
主权项
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