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发明名称 Prüfsondenstation mit zusätzlich zum thermischen Aufspannisolator angebrachter Leiterschicht
摘要
申请公布号 DE29623213(U1) 申请公布日期 1998.01.02
申请号 DE19962023213U 申请日期 1996.04.23
申请人 CASCADE MICROTECH, INC., BEAVERTON, OREG., US 发明人
分类号 G01R1/04;G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/28;H01L21/66;H01L21/68 主分类号 G01R1/04
代理机构 代理人
主权项
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