| 发明名称 |
PROCEDE DE REALISATION COLLECTIVE DE PUCES AVEC DES ELECTRODES SELECTIVEMENT RECOUVERTES PAR UN DEPOT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2741476(B1) |
申请公布日期 |
1998.01.02 |
| 申请号 |
FR19950013659 |
申请日期 |
1995.11.17 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
CAILLAT PATRICE;NICOLAS GERARD |
| 分类号 |
H01L21/306;B01J19/00;C40B40/06;C40B40/10;G01N27/403;G01N33/00;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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