MICROWAVE APPARATUS FOR DEPOSITING THIN FILMS.,申请号EP19940901375-传众专利搜索

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发明名称	MICROWAVE APPARATUS FOR DEPOSITING THIN FILMS.
摘要
申请公布号	EP0667921(A4)	申请公布日期	1997.12.29
申请号	EP19940901375	申请日期	1993.11.10
申请人	ENERGY CONVERSION DEVICES, INC.	发明人	IZU, MASATSUGU;DOTTER, BUDDIE R., II;OVSHINSKY, STANFORD R.;HASEGAWA, WATARU
分类号	C23C16/42;B65D65/42;C23C16/02;C23C16/40;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/54;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):C23C16/02;B05D1/04;B05D3/06;B29D22/00;B29D23/00;B65D23/02	主分类号	C23C16/42
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