| 发明名称 |
PROCEDE DE GRAVURE DE LA GRILLE EN TECHNOLOGIE MOS UTILISANT UN MASQUE DUR A BASE DE SION |
| 摘要 |
The invention discloses the use of a SiON based alloy coating as hard mask for engraving the gate in the manufacture of field-effect transistors. |
| 申请公布号 |
FR2749973(A1) |
申请公布日期 |
1997.12.19 |
| 申请号 |
FR19960007346 |
申请日期 |
1996.06.13 |
| 申请人 |
FRANCE TELECOM |
发明人 |
SCHIAVONE PATRICK;GAILLARD FREDERIC |
| 分类号 |
H01L21/302;G03F7/09;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/336;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
