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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VERTIKALER MOSFETS
摘要
申请公布号
DE69223128(D1)
申请公布日期
1997.12.18
申请号
DE1992623128
申请日期
1992.07.22
申请人
DENSO CORP., KARIYA, AICHI, JP
发明人
TOKURA, NORIHITO NIPPONDENSO CO., LTD., KARIYA-CITY AICHI-PREF. 448, JP;TAKAHASHI, SHIGEKI NIPPONDENSO CO., LTD., KARIYA-CITY AICHI-PREF. 448, JP
分类号
H01L21/28;H01L21/336;H01L29/04;H01L29/06;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/772;H01L29/41
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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