发明名称 Positivarbeitende Photoresistzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69220612(T2) 申请公布日期 1997.12.18
申请号 DE19926020612T 申请日期 1992.04.24
申请人 FUJI PHOTO FILM CO., LTD., MINAMI-ASHIGARA, KANAGAWA, JP 发明人 UENISHI, KAZUYA, C/O FUJI PHOTO FILM CO., LTD., HAIBARA-GUN, SHIZUOKA, JP;KAWABE, YASUMASA, C/O FUJI PHOTO FILM CO., LTD., HAIBARA-GUN, SHIZUOKA, JP;KOKUBO, TADAYOSHI, C/O FUJI PHOTO FILM CO.,LTD., HAIBARA-GUN, SHIZUOKA, JP
分类号 C07C39/16;C07C43/23;C07C49/83;G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 C07C39/16
代理机构 代理人
主权项
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