多边形平面多路径元件、含此元件的系统及使用方法

摘要

提供一种新型的多边形平面多路径元件，以及在吸收光谱测定中应用的方法。元件包括被多个薄壁环绕的样品区，每个薄壁有一个面向样品区的光反射表面。每个薄壁至少连接到另一个薄壁，使得在横截面实质上形成一个多边形。多边形的至少一个边具有一个光进/出口，进/出口含有一个光传输窗，窗有一个面向样品区的表面元件可用于测量样品中分子气体杂质，特别适用于半导体加工。

主权项

1.用于吸收光谱测定法中的一种多边形平面多路径元件，包括：一个由多个薄壁限定的样品区，每个薄壁有一个面向样品区的光反射表面，其中每个薄壁至少和一个其它薄壁相连接，以使得在横截面实质上形成一个多边形，多边形的至少一个边上有一个光的进/出口，每个进/出口包含一个光传输窗，该光传输窗有一个面向样品区的表面，光传输窗的配置是使得在环绕的方向上将元件封闭起来，元件有一中心轴，该中心轴平行于薄壁的光反射表面以及面向样品区的每个光传输窗的表面。