发明名称 NEW SULFONIUM SALT AND CHEMICAL AMPLIFICATION POSITIVE-TYPE RESIST MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH09323970(A) 申请公布日期 1997.12.16
申请号 JP19960307362 申请日期 1996.11.01
申请人 SHIN ETSU CHEM CO LTD;NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 OSAWA YOICHI;WATANABE SATOSHI;TAKEMURA KATSUYA;NAGURA SHIGEHIRO;TANAKA HARUYORI;KAWAI YOSHIO
分类号 G03F7/004;C07C381/12;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C07C381/12 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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