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发明名称 SAMPLE FOR ELECTRON MICROSCOPE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09318509(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960135428 申请日期 1996.05.29
申请人 NEC CORP 发明人 SHIMIZU KEIJI
分类号 G01N1/28;G01N1/32;(IPC1-7):G01N1/32 主分类号 G01N1/28
代理机构 代理人
主权项
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