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发明名称 SUBSTRATE TREATMENT
摘要
申请公布号 JPH09320950(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960156183 申请日期 1996.05.27
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 IZEKI IZURU;TAKAHASHI SATORU
分类号 G03F7/16;B05C5/00;B05C11/08;B05D1/40;H01L21/027;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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