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发明名称 MANUFACTURE OF SENSOR
摘要
申请公布号 JPH09318474(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960135395 申请日期 1996.05.29
申请人 TOKAI RIKA CO LTD 发明人 ITOIGAWA KOICHI;IWATA HITOSHI
分类号 G01P15/12;G01L9/00;G01L9/04;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 主分类号 G01P15/12
代理机构 代理人
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